臭氧消毒和高温消毒都各有優勢，主要是要殺毒的餐具來定，如果是塑料餐具，提議應用臭氧殺毒，如果是陶瓷不鏽鋼餐具，提議應用高温殺毒。
高温蒸汽不僅可殺死一般的細菌、真菌等微生物，對芽胞、孢子也有殺滅效果，是可靠、應用普遍的物理滅菌法。由於蒸汽的穿透性強，蛋白質、原生質膠體在濕熱條件下用以變性凝固，酶系統容易破壞，蒸汽進入細胞內凝結成水，能夠放出潛在熱量提高温度，更增強了殺菌力。在影響微生物生命活動的各種物理因素中，利用水的沸點隨水蒸汽壓力的增加而上升，從而達到高温滅菌的目的。
臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應，O3滅菌有3種形式：臭氧能氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡；直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA,使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡；透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用於外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。
